WF6는 주로 전자 산업에서 금속 텅스텐의 화학 기상 증착(CVD) 공정의 원료로 사용됩니다. WF6로 제조된 WSi2는 대규모 집적 회로(LSI)의 배선 재료로 사용될 수 있으며, 반도체 전극, 불소, 화학 약품, 중합 촉매, 광학 재료 등의 원료로도 사용될 수 있습니다.